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中微公司研发的等离子刻蚀设备已经进入客户的5nm生产线
4月6日,中微公司董事长、总经理尹志尧透露,公司研发的等离子刻蚀设备已经进入客户的5nm生产线。 其中,公司开发的12英寸高端刻蚀设备已运用在国际知名客户最先进的生产线上并用于5纳米、5纳米以下器件中...
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华卓精科获8700万的战略投资 推动光刻机国产化
日前,集成电路装备及关键零部件企业华卓精科获得浑由浑璞投资、中国国际金融股份有限公司和红星美凯龙控股集团共计8700万的战略投资。其中,浑璞投资的投资金额为6600万元。 与此同时,华卓精科发布公告,...
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